包含清洗单元、涂胶单元、烘烤与冷却单元、显影成像单元、搬运单元、系统集成单元进出料采用输送系统与对位系统组成，各工艺单元之间采用机械手臂进行传递，整个过程由数字控制系统进行控制。
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包含清洗单元、涂胶单元、烘烤与冷却单元、显影成像单元、搬运单元、系统集成单元进出料采用输送系统与对位系统组成，各工艺单元之间采用机械手臂进行传递，整个过程由数字控制系统进行控制。
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